турбомолекулярные вакуумные насосы
Автор Bret Hart задал вопрос в разделе Техника
что такое турбомолекулярный насос? как устроен? принцип работы ? и получил лучший ответ
Ответ от Antony[гуру]
На пальцах: та штука, что нарисована в вике верхним концом присоединяется к откачиваемому объему, к нижнему патрубку вакуумный насос низкого разряжения (форфакуумный) Сначала объем откачивают форнасосом, а потом запускают турбину. , Рабочие диски с профилироваными прорезями, молекула газа ударяясь о них летит вниз к следующему диску, и так далее. Ищи больше информации "технология производства микросхем" и "средства безмаслянной откачки"
Источник: Работал с турбоваком лет 20 назад
Ответ от NORD[гуру]
Турбомолекулярный насос — один из видов вакуумных насосов, служащий для создания и поддержки высокого вакуума. Действие турбомолекулярного насоса основано на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости в направлении откачки вращающимся ротором. Ротор состоит из системы дисков. Вакуум, создаваемый турбомолекулярным насосом, до 10−8 Па (10−10 мм рт. ст.) . Скорость вращения ротора — десятки тысяч оборотов в минуту. Для работы требует применения форвакуумного насоса.
Подробнее .
Турбомолекулярный насос — один из видов вакуумных насосов, служащий для создания и поддержки высокого вакуума. Действие турбомолекулярного насоса основано на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости в направлении откачки вращающимся ротором. Ротор состоит из системы дисков. Вакуум, создаваемый турбомолекулярным насосом, до 10−8 Па (10−10 мм рт. ст.) . Скорость вращения ротора — десятки тысяч оборотов в минуту. Для работы требует применения форвакуумного насоса.
Подробнее .
Ответ от 3 ответа[гуру]
Привет! Вот подборка тем с похожими вопросами и ответами на Ваш вопрос: что такое турбомолекулярный насос? как устроен? принцип работы ?